扫描声学显微镜

扫描声学显微镜,英文是Scanning Acoustic Microscope,也称超声波扫描显微镜,用于检测各种器件的内部分层、空洞、裂纹等缺陷。



KSI WINSAM Vario III

注:该型号已经停产,替代Vario III型号的新一代机型是: V-400E,详见:http://www.ksi-china.com/v-series-sam/v400e.html

这是我德国KSI公司在2000年这个世纪元年开发的,其工作速度、射频带宽均达到当时最先进的水平,该款设备迅速进入欧洲、北美、亚太地区半导体FA实验室,成为工程师失效分析之利器。

德国KSI公司上一代超声波扫描显微镜

KSI WINSAM Vario III

  • 超声波发生器带宽:5~500MHz
  • 扫描范围:0.25×0.25mm~300×300mm
  • 最高扫描速率:1米/秒
  • 频率范围:1~500MHz
  • 换能器选择:5~400MHz
  • 扫描机构分辨率:0.1μm
  • 扫描模式:A, B,C,D, G, X, 3D
  • 最小门限时间1ns
  • FFT
  • 阻抗测量,伪彩色表示
  • 图像输出可保存为BMP及SAM格式
  • KSI扫描操作软件(Windows 2000 Prof. 或Windows XP操作系统),SIS图像分析软件包
  • CD-RW
  • 仪器尺寸:200×65×130cm
 

KSI SAM 2000高分辨超声波扫描显微镜

KSI SAM2000高分辨声学显微镜

SAM2000型超声波扫描显微镜是当时世界上分辨率、扫描频率和最快扫描速度的声学显微系统,该系统创新的将一个光学显微镜与超声波扫描显微镜结合在一起,并可以在两种工作模式之间随意切换。光学显微镜和高频超声波扫描显微镜观察的是同一样品相同区域和组织。

该系统是为快速、无损伤地检测材料内部而设计的,如集成电路(IC)或相类似的小型器件。可用在生产和失效分析方面,给出具有高重复性和精细的内在信息,将生产过程中所产生的每一种细微缺陷加以显示出来

超声显微镜规格:
● 样品尺寸:60μm~1mm
● 超声频率:100MHz~2000MHz
● 高频射频单元,高频传感器和接收单元可以从 60MHz~800MHz, 频率选择可以选择100MHz, 200MHz和400MHz, 其他可选的频率。700MHz~2000MHz频率的调整可以是数MHz的步阶调整(根据频率不同,调整步阶也不同)
● 高精度的V(z)线性马达驱动,最小可达0.1μm精确度,软件控制
● 实时扫描并显示图像(标准分辨率512线,最高可达4096线)
● 电动清水装置,可清洗和打湿超声物镜
● 可旋转和倾斜的样品台,150mm×150mm,可抽出式。X/Y方向可移动50mm,有微测头,精度达2μm
● 坚固的人性化设计的平台

光学显微镜的技术参数:
● 包括照明光源模块,自动聚焦镜筒,1×无限远修正光路,可变光圈和2个定中心的控制键
● 双目目镜 FSA-VR/20,双目目镜镜筒用于暗场和亮场,视野范围 28mm
● 最大的光学放大倍率3000X

 

Ksi v200 高性价比 超声波显微镜


高性价比超声显微镜

 

机械扫描部分

  1. X/Y/Z轴驱动系统是步进马达
  2. X轴和Y轴的最高扫描速率是:500mm/s
  3. 最大可测样品:200mm×150mm
  4. X轴和Y轴的扫描精度:±0.5μm
  5. Z轴是由自锁步进电机驱动
  6. Z轴升降行程:100mm

电子部分和计算机工作站

  1. 超声脉冲发生和接收器带宽:100MHz
  2. 高速模数转换卡
  3. FCT低噪专利探头,极大地抑制水花(可选件)
  4. 正版Microsoft Windows 操作系统
  5. Intel奔腾处理器
  6. 500GB 7200rpm硬盘
  7. 22吋平板显示器

软件部分和扫描模式

  1. 点扫描(A-)
  2. 纵剖扫描(B-)
  3. 横剖扫描(C-)
  4. 单配置多层横剖扫描(X-)
  5. 分层缺陷着色
  6. 扫描图像复位功能,轻松重构超扫图像
  7. 扫描图像单元格式:BMPJPG等各种图像格式
  8. 厚度和距离测量
 

KSI v300 失效分析实验室用声学显微镜


v300 acoustic microscopy

机械扫描部分

  1. X/Y/Z轴驱动系统是步进马达
  2. X轴和Y轴的最高扫描速率是:1000mm/s
  3. 最大扫描范围:300mm×300mm
  4. X轴和Y轴的扫描精度:±0.25μm
  5. Z轴是由自锁步进电机驱动
  6. Z轴升降行程:100mm

电子部分和电脑工作站

  1. 超声脉冲发生和接收器带宽:500MHz
  2. 模数转换卡ADC 1GHz
  3. 声学图像最大放大倍率400×
  4. 正版Microsoft Windows 操作系统
  5. Intel酷睿处理器
  6. 1000GB 7200rpm硬盘
  7. 22吋平板显示器

软件部分和扫描模式

  1. 点扫描(A-)
  2. 纵剖扫描(B-)
  3. 横剖扫描(C-)
  4. 单配置多层横剖扫描(X-)
  5. 分层缺陷着色
  6. 扫描图像复位功能,轻松重构超扫图像
  7. 图像分辨率最大:32.000 x 32.000 (像素)
  8. 扫描图像储存格式:BMP、JPG、sam等各种图像格式
  9. 缺陷尺寸测量工具
  10. 工件厚度测量估算

 

选件与客制件

  1. 图像分析处理软件包
  2. 专业3D声学图像处理软件包
 
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