扫描声学显微镜

扫描声学显微镜,英文是Scanning Acoustic Microscope,也称超声波扫描显微镜,用于检测各种器件的内部分层、空洞、裂纹等缺陷。



凯斯安KSI  v700E 超声波扫描显微镜


KSI v700E型超声波扫描显微镜

  • 该型号超声波扫描显微镜分析系统,用于检测大件样品
  • - 最大扫描速度:2000 mm/s
  • - 与其它品牌相比扫描效率高30%
  • - 最大扫描范围:700mm×400mm
  • - 最小扫描范围:200μm×200μm
  • - 带宽:550MHz
  • - 最大放大倍数:625倍
  • - 新型FCT专利换能器
 

KSI v1000E 超声波扫描显微镜

 

德国KSI超声波显微镜v-1000E

  • 该型号超声波扫描显微镜分析系统,用于研发和生产部门检测特大件样品
  • - 最大扫描速度:2000 mm/s
  • - 与其它品牌相比扫描效率高30%
  • - 最大扫描范围:1000mm×700mm
  • - 最小扫描范围:200μm×200μm
  • - 带宽:550MHz
  • - 最大放大倍数:250倍
  • - 新型换能器
 

KSI - 凯斯安i-Wafer型全自动晶圆超声波缺陷检测系统

i-Wafer系列是一款高端仪器,操作人员可选择接收/拒绝标准,手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下,晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测。


新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点:晶圆托盘和工装
- 扫描速度最高达2000mm/s
- 新型换能器
- 高质画面
- 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能
- 能发现只有几微米的缺陷
- 能检测200mm、300mm和450mm的晶圆
- 频率范围从10MHz到550MHz
- 最大放大倍数:625倍
- 通过不同的扫描模式灵活应用
- 使用Windows 7 GUI就可简单操作
- KSI 可视软件
- 根据用户需要加以应用
- 高性价比

 

为客户订制的晶圆托盘
全自动8英吋和12英吋晶圆缺陷检测声扫系统,带晶圆盒、机械手、准直系统和条码识别系统

晶圆盒

晶圆键合缺陷

 

KSI- 凯斯安i-Ingot型全自动晶锭分析检测系统

晶锭夹具工装新型KSI i-Ingot适用于对晶锭的无损检测,有了它,晶锭内部的裂缝或杂质就能得到快速检测,晶锭的尺寸可达450mm,检测时间短,也不需要做其它设定。

除此之外,新的检测程序还能防止外界干扰。有了KSI i-Ingot,使用8通道换能器系统能检测小到100μm的孔隙,从而提高效能。


新型KSI i-Ingot的特点:
- 新机器安装方便快速
- 多重换能器系统,数量多达8只
- 检测速度快,图像采集速度快
- 工业标准
- 程序稳定,能防止外界干扰
- 能检测各种晶锭尺寸,安装快速
- 24小时待命
- 根据用户要求定制

 

 

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KSI V400E 多用途超声波扫描显微镜

KSI V-400E多用途超声波扫描显微镜

  • 该型号超声波扫描显微镜系统是实验室、研发和工业生产线主流机型。
  • - 扫描速度最高可达:1000mm/s 或 2000mm/s,两种规格可选
  • - 与其它品牌机型相比扫描效率高30%
  • - 最大扫描范围:400mm×400mm 或 400mm x 800mm,二种规格可选。
  • - 射频最大带宽:500MHz 或 550MHz,两种规格可选
  • - 常规探头 或 FCT低噪探头,两种规格可选
 
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