扫描声学显微镜

扫描声学显微镜,英文是Scanning Acoustic Microscope,也称超声波扫描显微镜,用于检测各种器件的内部分层、空洞、裂纹等缺陷。



KSI v300E 高精度扫描声学显微镜

v300E声学显微镜设备

1) 扫描机械机构

(1) XY轴都是由高精度磁悬浮直线电机驱动

(2) XY轴一次最大扫描行程范围:300mm×300mm

(3) XY一次最小扫描行程范围:0.2mm×0.2mm

(4) 最大扫描速率:2000mm/s,最大扫描加速度30m/s2

(5) XY轴扫描重复精度±0.1um

(6) Z轴是高精度自锁步进电机,最大行程:100mm

(7) Z轴电机重复精度:± 0.25μm

2) 扫描模式

(1) 点波形(A-Scan)

(2) 纵剖扫描(B-Scan)

(3) 横剖扫描(C-Scan)

(5) 等间隔多层横剖扫描(X-Scan)

(6) 自定义多层横剖扫描,可独立设置不同层面的厚度等参数

(7) 透射扫描

(8) 顺序扫描、托盘扫描、高质量扫描、表面跟踪扫描、全息扫描(实体扫描)

(9) 其它

3) 脉冲信号收发器和换能器

(1) 扫描工作模式:单通道工作模式

(2) 脉冲信号收发器带宽:5MHz550MHz

(3) 总增益:150dB

4) 主要功能

(1) 测试被测工件内部缺陷,如空洞、分层、裂缝、异物等;

(2) 扫描图像模板功能,轻松获得参数一致的声学显微图像;

5) 其它指标

(1) 保存图像格式:JPGBMP、TIFF、SAM

(2) 最大图像采样像素:32000×32000像素 ,可以自定义输入图像分辨率或单个像素尺寸,由设备自动计算所用的图像分辨率

6) 配置与附件清单

(1) KSI v300E主机 1

(2) 探头: 根据实际需要,可以自由选择共200多种探头

① 15MHz探头;

② 30MHz探头

其它约200多种探头型号;

(3) 电脑系统 1

Intel酷睿i5多核处理器

128GB固态硬盘+1000GB机械硬盘

16GB内存

227英寸显示器

11 正版Microsoft windows 10操作系统(电脑内置)

12 键盘和鼠标

13 Ksi vision 主机控制扫描软件

14 远程维修软件

(4) 仪器其余部件如下

马达驱动器 3个;

超声信号发生器和接收器 1个;

大理石防震平台;

超声信号前置放大器 1个;

水槽 1

自动排水口 1

干手布 1

(5) 附件、耗材、易损件:

随机附件:用户手册等

所有的线缆和探头都属于易损件,1个月内非人为损坏可以更换。

 

 

KSI v450E 大型超高分辨超声无损检测仪

ksi v450E大型超声波显微镜

 

 

The all new KSI v450E Scanning Acoustic Microscope for DBC board, IGBT module, solar panel, multi wafer and other large sample inspections. The new v450E combines KSI’s unmatched high speed scanning and unique vibration decoupling granite design with an extra large scanning range of 450mm x 450mm. With the KSI v450E easy handling and fast evaluation of large size samples is guaranteed.


The KSI v450E Key-Features:

Extra large 450mm x 450mm scan field for DBC substrate / IGBT module / PCB

Extra thickened marble base and deepened water tank make it easier to full auto- and semi auto- the testing of DBC substrates and IGBT modules

New Highly Ergonomic, User-friendly Design with Wide Cover Opening for Easy Large Size Sample Handling

Perfectly suitable for large sample inspections including DBC, IGBT, PCB boards, solar panel, multi wafer and all other large size and standard applications


Simultaneous Multi JEDEC Tray Scanning for all standard.

All-in-one Scanning Acoustic Microscope for inspection of PCB, multiple jedec, flip chip, stacked DIE, DBC, IGBT, multi wafer, MLCC, solar cells, and other semiconductor as well as material science applications

Matchless vibration decoupling granite design and high speed linear drive with max. moving speed 2,000 mm/s, and maximum acceleration 30,000 mm/s²

Unique FCT™ (Fluid Cut Technology) Transducer


Available options:

Customer Specific Tray Fixture for all Applications (wafer, jedec, BGA‘s, DBC, IGBT, Flip Chip etc.)

Constant Coupling Liquid Quality with DI-Water Refill Unit and Water Purity Control

Elimination of Contaminations and Gas Bubbles in Coupling Liquid for Highest Picture Quality and Stable Scan-Process

Automation of Sample Positioning, Scan Process, Failure Detection, Analysis & Quantification


IP-holding GmbH, Walther-Rathenau-Str.18, 35745, Herborn, Germany.

 

 

KSI V-quattro四探头超声波扫描显微镜系统


KSI v-quattro四探头超声波扫描显微镜分析系统

多工系统——4探头超声波扫描显微镜分析系统

四探头系统,同时使用4只换能器
- 最大扫描速度:2000 mm/s
- 与其它品牌相比扫描效率高30%
- 最大扫描范围:1000mm×700mm
- 最小扫描范围:200μm×200μm
- 带宽:550MHz
- 最大放大倍数:250倍
- 新型FCT换能器

 

KSI V-duo 双探头超声波扫描显微镜系统

KSI v-duo双探头超声波扫描显微镜分析系统

双探头超声波扫描显微镜系统,同时使用2只换能器
- 最大扫描速度:2000 mm/s
- 与其它品牌相比扫描效率高30%
- 最大扫描范围:700mm×600mm
- 最小扫描范围:200μm×200μm
- 带宽:550MHz
- 最大放大倍数:625倍
- 新型换能器

 

KSI V-Octo 八探头大型超声波扫描显微镜系统

KSI v-octo八探头超声波扫描显微镜分析系统

大型8探头超声波扫描显微镜分析系统

该系统同时使用8只换能器,能最大限度的确保快速图像采集和高效能。
- 最大扫描速度:2000 mm/s
- 与其它品牌相比扫描效率高30%
- 最大扫描范围:1000mm×700mm
- 最小扫描范围:200μm×200μm
- 带宽:550MHz
- 最大放大倍数:250倍
- 新型换能器

 
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